NANO-REGION & MiDALIx

Pri izvedbi Proof-of-concept raziskav za podjetje "MiDALIx" so partnerji projekta NANO-REGION (financiranega iz programa Interreg V-A Italija-Slovenija 2014-2020) sodelovali z raziskovalci podobnih branž, ki delujejo na tržišču. MiDALIx je namreč visokotehnološko podjetje, ki je razvilo DaLI - napravo za fotolitografijo, za prenos vzorca ne potrebuje t.i. maske. Naprava se uporablja za mikrostrukturiranje materialov, saj omogoča zelo natančne robove struktur, visoko ločljivost in majhne velikosti elementov. Z lasersko litografijo je mogoče na nedestruktivni način prenesti izbrano zasnovo na izbrani material, na primer na zelo tanke rezine silicija.

V raziskavah se te tanke rezine nato uporabljajo v znanosti o materialih, kvantnih napravah, mikroelektroniki in podobno. Pri raziskavah organskih polprevodnikov ali 2D nanostruktur se lahko s pomočjo Dalija  natančno izdela kovinske elektrode na nanostrukturah.

V okviru projekta NANO-REGION smo k svetovanju podjetju pristopili z osvetlitvijo tankih rezin s polimerom občutljivim na svetlobo fotoupornim materialom. Osvetlitev je bila izvedena v obliki piramide, vzorcem vodoravnih in navpičnih črt. Razlike med vzorci rezine glede na širino, globino in število stikov polj.

Svetovanje je vključevalo tudi analizo vzorcev z vrstičnim elektronskim mikroskopom s fokusiranim ionskim žarkom s tehniko analizo prečnih presekov, s čimer so bili določeni oblika, širina in globina stikov polj. Izkazalo se je, da imajo vzorci z več koraki daljši in plitvejši stik polj, vzorci z manj koraki pa globlji in ožji stik polj. Izkazalo se je, da so optimalni vzorci tisti, ki imajo plitvejše in ožje stike polj. V zaključku svetovanja smo s podjetjem identificirali fokus nadaljnjega razvoja.