NANOREGIJA - Zagon izdelave produktov nano-velikosti zahvaljujoč novemu orodju za elektronsko litografijo, nameščenemu v CNR IOM

EBL širi nabor nanotehnoloških instrumentov, ki se uporabljajo v okviru čezmejnega projekta NANO-REGION

Elektronska litografija (EBL je  angleška kratica za Electron Beam Lithography) je danes ključna proizvodna tehnika za izdelavo izdelkov »nano« reda velikosti, tudi na večjih površinah. Na Cnr-Iom v Trstu je bil v znanstvenem parku »Area« nameščen EBL za proizvodnjo struktur, senzorjev in naprav nano dimenzij v okviru projekta "NANOREGION, odprto omrežje za inovacije", čezmejnega projekta med Italijo in Slovenijo, ki se ponaša s široko paleto instrumentov, ki so na voljo znanstveni skupnosti za raziskave in analize v svetu nano-velikosti.

Nanotehnologije so realnost, ki je že prisotna v proizvodih, ki se tržijo in uporabljajo v vsakdanjem življenju, z aplikacijami v oblikovanju, pohištvu, elektroniki, senzorjih, biomedicini, elektroniki itd. Elektronska litografija je tehnika, ki, podobno kot skenirno elektronsko mikroskopijo (SEM) uporablja izjemno usmerjen elektronski žarek s premerom manj kot 1 nanometer, kar predstavlja pomembne prednosti in možnosti za dodaten zagon v omenjenem proizvodnem sektorju. Pri uporabi SEM žarek osvetli vzorec in nato odbiti elektroni ustvarijo slike osvetljenega vzorca. Pri EBL pa se elektroni uporabljajo za graviranje občutljivega materiala, na primer polimetilmetakrilata (običajno pleksi steklo), ki spreminja njegovo kemično strukturo, tako lahko izdela nanostrukture oziroma izdelke nano-velikosti.

"Obstajata dve vrsti elektroobčutljivih materialov: tisti, imenovani 'pozitivna upornost', pri katerih območja, izpostavljena žarku, postanejo topna v določenem topilu, in tisti, imenovani 'negativna upornost', ki se pod žarkom strdijo", pojasnjuje Simone Dal Zilio, raziskovalec pri Cnr-Iom in odgovoren za opremo v okviru projekta NANO-REGION.

NANO-REGION je projekt programa Interreg Italija-Slovenija, ki odpira vrhunsko opremljene laboratorije, za karakterizacijo in sintezo materialov na skali nano-velikosti, industrijskemu in poslovnemu svetu. Projekt podjetjem na obmejnem področju nudi zlasti svetovanje o proizvodnih in podjetniških problemih, čemur sledi identifikacija potencialnih nanotehnoloških rešitev. Z uporabo najprej virtualne in nato eksperimentalne poti, imenovane Proof of Concept (PoC), ki vključuje raziskovalce in podjetnike, se znanje raziskovalnih inštitutov tako deli s podjetniško skupnostjo. Predlagane tehnološke rešitve so preverjene na realnih primerih, zahvaljujoč uporabi najsodobnejše opreme, ki ji je zdaj dodan še EBL. EBL je postavljen na lokaciji CNR-Iom in nameščen v čisti sobi razreda 1000. Kot tak je edinstven v čezmejni regiji, ki vključuje Furlanijo Julijsko krajino, Benečijo in Slovenijo, in tako zelo zanimiv tudi za sosednje regije in širše območje.

"Do danes je bilo izvedenih že 20 PoC-jev, ki so pravi eksperimenti, katerih rezultate objavljajo in dajejo ostalim podjetjem na voljo prek spletne strani www.nanoregion.eu, tako delijo pridobljeno znanje in dajejo prikazane rešitve v uporabo še drugim podjetjem," pojasnjuje Mattia Fanetti iz Univerze v Novi Gorici in odgovoren za NANO-REGION dejavnosti PoC.

»Z razpoložljivostjo EBL za uporabnike kot najnovejšo pridobitev v hiši NANO-REGION – zaključuje Marco Lazzarino, vodja projekta – sem prepričan, da bo že tako navdušen odziv lokalne industrijske skupnosti še večji in zaključk projekt bo prinesel še več zadovoljstva."