NANO-REGION & MiDALIx

Nelle attività di Proof-of-concept per l'azienda “MiDALIx”, i partner del progetto NANO-REGION (finanziato dal Programma Interreg V-A Italia-Slovenia 2014-2020) hanno avviato una collaborazione. MiDALIx è un'azienda high-tech che ha sviluppato DaLI - un dispositivo per la fotolitografia senza maschera. Il dispositivo viene utilizzato nei materiali di microstrutturazione, perché consente di lavorare la struttura ai bordi in modo molto preciso, con una risoluzione raffinata e a dimensioni ridotte. Con la litografia laser è possibile trasferire su un materiale, come sottilissimi strati di silicio,  il disegno scelto in modo da non danneggiarlo.

Nell'ambito della ricerca, questi strati sottili sono utilizzati per la scienza dei materiali, per i dispositivi quantistici, e per la microelettronica. Nella ricerca di semiconduttori organici o nanostrutture 2D, Dali è in grado di fabbricare accuratamente elettrodi metallici su nanostrutture.

Nell'ambito del progetto NANO-REGION, le consulenze hanno riguatrdato proprio questi campioni di silicio, che sono stati analizzati in particolare illuminando il pattern di linee orizzontali e verticali con diverso numero di gradini. Si è evidenziata una differenza nelle prestazioni dei campioni analizzati, in base alla larghezza, e alla profondità.

La consultazione ha incluso l'analisi del campione con un microscopio elettronico a scansione a fascio di ioni focalizzato con un'analisi trasversale: dove sono state determinate la forma, la larghezza e la profondità dei punti. Si è scoperto che i campioni con più passi hanno punti più lunghi e meno profondi e i campioni con meno passi hanno punti più profondi e più stretti. Si scopre che i modelli ottimali sono quelli con contatti di campo meno profondi e più stretti. Alla fine della consultazione, abbiamo identificato con l'azienda il focus per un ulteriore sviluppo.